
线切割冷却液
本品是一款主要用于硬脆材料金刚石线多线切割的高性能切割液产品,主要适用于单晶硅、锗单晶、砷化镓、碳化硅、石英等硬脆材料切割。产品有效成含量高、成分间交互协同效果强,具有优异的冷却、润滑、分散、消泡和清洗等功能,是一款环境友好型产品。
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产品详细信息
产品介绍
本品是一款主要用于硬脆材料金刚石线多线切割的高性能切割液产品,主要适用于单晶硅、锗单晶、砷化镓、碳化硅、石英等硬脆材料切割。产品有效成含量高、成分间交互协同效果强,具有优异的冷却、润滑、分散、消泡和清洗等功能,是一款环境友好型产品。
产品特性
1、优异的冷却效果。及时散去线锯和晶圆之间产生的高热量。
2、突出的润滑性能。减少晶圆表面线痕、翘曲、TTV,降低表面粗糙度,降低金刚线的磨损。
3、良好的分散性能。解决切割产生的颗粒碎屑在钢线和晶圆表面的再沉积问题,避免吸附在晶圆表面造成污片,便于晶圆的脱胶与清洗。
4、极佳的化学稳定性。无金属离子污染,高温不会发生分解,不会造成硅片表面氧化现象发生。
5、杰出的消泡、清洗性能。能有效地抑制切割过程中产生的气泡,消除泡沫对切割过程的不利影响。
6、环境友好性。选取原材料易于生物降解处理,通过常规的污水处理方式即可。
产品质量指标
外观:无色或淡黄色液体
密度(g/cm3,25℃):0.950~1.150
pH值(5‰水溶液,25℃):5.0~7.5
表面张力(5‰水溶液,25℃):20~32
COD(原液,mg/L):≤200000
水溶性:与水以任意比例混溶
关键字:
抛光液
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